다음과 같은 경우에는 HEPA 필터를 교체해야 합니다.
표 10-6 클린룸의 청정공기 모니터링 빈도
청결 수준 테스트 항목 | 1~3 | 4~6 | 7 | 8, 9 |
온도 | 사이클 모니터링 | 수업당 2회 | ||
습기 | 사이클 모니터링 | 수업당 2회 | ||
차압값 | 사이클 모니터링 | 주 1회 | 한 달에 한 번 | |
청결 | 사이클 모니터링 | 주 1회 | 3개월에 한 번 | 6개월에 한 번 |
1. 풍량이 최소 수준으로 감소합니다. 1차 및 중간 필터 교체 후에도 풍량을 증가시킬 수 없습니다.
2. HEPA 공기 필터의 저항은 초기 저항의 1.5배에서 2배에 달합니다.
3. HEPA 공기 필터에 수리 불가능한 누출이 있습니다.
6. 엔드필터 교체 후 종합 성능 테스트 에어컨 시스템의 열습 처리 장비와 팬을 청소한 후 시스템 팬을 시동하여 정화 시스템을 작동시키고 종합 성능 테스트를 실시합니다.시험의 주요 내용은 다음과 같습니다.
1) 시스템 공급량, 복귀 공기량, 신선 공기량, 배기 공기량 결정
시스템은 송풍기의 공기 흡입구 또는 공기 덕트의 공기량 측정 구멍에서 송풍량, 반송량, 신선 공기량, 배출 공기량을 측정하여 해당 조절 메커니즘을 조절합니다.
측정에 사용되는 계측 장비는 일반적으로 다음과 같습니다. 하부 관리 및 미소 압력 게이지 또는 임펠러 풍속계, 핫볼 풍속계 등입니다.
2) 클린룸 내 공기 흐름 속도 및 균일도 측정
단방향 유동 클린룸과 수직 단방향 유동 클린룸은 고효율 필터 아래 10cm(미국 기준으로 30cm)와 바닥에서 80cm 떨어진 작업 공간의 수평면에서 측정합니다. 측정 지점 간 거리는 ≥2m이며, 측정 지점의 개수는 10개 이상입니다.
비단일방향 유동 클린룸(즉, 난류 클린룸)의 기류 속도는 일반적으로 공기 공급구 아래 10cm의 풍속에서 측정합니다. 측정 지점의 수는 공기 공급구 크기에 따라 적절히 배치할 수 있습니다(일반적으로 1~5개 측정 지점).
6. 엔드 필터 교체 후 종합 성능 시험: 공조 시스템의 온습도 처리 장비와 팬을 청소한 후, 시스템 팬을 시동하여 정화 시스템을 가동하고 종합 성능 시험을 실시합니다. 주요 시험 내용은 다음과 같습니다.
1) 시스템 공급량, 복귀 공기량, 신선 공기량, 배기 공기량 결정
시스템은 송풍기의 공기 흡입구 또는 공기 덕트의 공기량 측정 구멍에서 송풍량, 반송량, 신선 공기량, 배출 공기량을 측정하여 해당 조절 메커니즘을 조절합니다.
측정에 사용되는 계측 장비는 일반적으로 다음과 같습니다. 하부 관리 및 미소 압력 게이지 또는 임펠러 풍속계, 핫볼 풍속계 등입니다.
2) 클린룸 내 공기 흐름 속도 및 균일도 측정
단방향 유동 클린룸과 수직 단방향 유동 클린룸은 고효율 필터 아래 10cm(미국 기준으로 30cm)와 바닥에서 80cm 떨어진 작업 공간의 수평면에서 측정합니다. 측정 지점 간 거리는 ≥2m이며, 측정 지점의 개수는 10개 이상입니다.
비단일방향 유동 클린룸(즉, 난류 클린룸)의 기류 속도는 일반적으로 공기 공급구 아래 10cm의 풍속에서 측정합니다. 측정 지점의 수는 공기 공급구 크기에 따라 적절히 배치할 수 있습니다(일반적으로 1~5개 측정 지점).
3) 실내 공기 온도 및 상대 습도 감지
(1) 실내 온도 및 상대습도 측정 전, 정화된 공조 시스템을 최소 24시간 이상 연속 가동해야 합니다. 일정한 온도가 요구되는 장소의 경우, 온도 및 상대습도 변동 범위 요건에 따라 8시간 이상 연속 측정해야 합니다. 각 측정 간격은 30분을 초과할 수 없습니다.
(2) 온도 및 상대습도의 변동범위에 따라 충분한 정확도를 가진 해당 계측기를 선택하여 측정하여야 한다.(3) 실내 측정점은 일반적으로 다음과 같은 장소에 배치한다.
a. 보내기, 공기 배출구 반환
b. 일정 온도 작업 영역의 대표 위치
c. 룸 센터
d. 민감한 구성 요소
모든 측정 지점은 바닥으로부터 0.8m 높이의 동일한 높이 또는 항온 구역의 크기에 따라 지면으로부터 서로 다른 높이의 여러 평면에 배치되어야 합니다. 측정 지점은 외부 표면으로부터 0.5m 이상 떨어져 있어야 합니다.
4) 실내 공기 흐름 패턴 감지
실내 기류 패턴을 감지하기 위해서는 클린룸의 기류 구성이 클린룸의 청정도를 충족할 수 있는지 확인하는 것이 핵심입니다. 클린룸의 기류 패턴이 기류 구성의 요건을 충족하지 못하면, 클린룸의 청정도 또한 요건을 충족하지 못하거나 충족하기 어려워집니다.
깨끗한 실내 공기 흐름은 일반적으로 하향식입니다. 감지 과정에서 다음 두 가지 문제를 해결해야 합니다.
(1) 측정점 배치 방법
(2) 담배 라이터나 매달아 놓은 모노필라멘트 실을 이용하여 공기 흐름의 흐름 방향을 지점별로 관찰하고 기록하고, 측정 지점을 배열하여 단면도에 공기 흐름 방향을 표시한다.
(3) 측정기록을 직전 측정기록과 비교하여 실내기류조직과 일치하지 않거나 모순되는 현상이 발견될 경우 그 원인을 분석하여 처리하여야 한다.
5) 유선 오용 감지(단방향 흐름 청정실에서 유선의 평행성 감지용)
(1) 공기 공급 평면의 공기 흐름 방향을 관찰하기 위해 단일 선을 사용할 수 있습니다. 일반적으로 각 필터는 하나의 관찰 지점에 해당합니다.
(2) 각도 측정 장치는 지정된 방향에서 공기 흐름이 멀어지는 각도를 측정합니다. 이 시험의 목적은 작업 공간 전체의 공기 흐름 평행도와 클린룸 내부의 확산 성능을 확인하는 것입니다. 사용 장비는 등출력 연기 발생기, 수직 또는 수평계, 줄자, 지시계, 프레임입니다.
6) 실내 정압 측정 및 제어
7) 실내 청결도 점검
8) 실내 플랑크톤세균 및 침전세균 검출
9) 실내 소음 감지
1. 에어필터 교체주기
정화용 공기 조절 시스템에 사용되는 각 레벨의 공기 필터는 특정 조건에 따라 어떤 상황에서 교체해야 합니까?
1) 신선 공기 필터(프리 필터 또는 초기 필터, 거친 필터라고도 함)와 중간 공기 필터(중간 공기 필터라고도 함)를 교체합니다. 이는 초기 공기 저항의 두 배에 해당할 수 있습니다. 진행할 시간입니다.
2) 최종 공기 필터 교체(일반적으로 효율이 낮은 공기 필터, 효율이 높은 공기 필터, 매우 효율적인 공기 필터)
국가 표준 GBJ73-84는 공기 흐름 속도를 최소로 낮추도록 규정하고 있습니다. 1차 및 중간 필터를 교체하더라도 공기 흐름 속도를 높일 수 없으며, HEPA 공기 필터의 저항은 초기 저항의 두 배에 달합니다. 수리 불가능한 누출이 있는 경우 필터를 교체해야 합니다.
2. 에어필터 선택
에어컨을 일정 기간 동안 환기한 후에는 시스템에 사용된 에어 필터를 교체해야 합니다. 필터 교체 시 다음 사항에 유의하십시오.
1) 먼저, 원래 필터 모델, 사양, 성능(제조업체 포함)과 일치하는 공기 필터를 사용하세요.
2) 새로운 모델과 규격의 에어필터를 채택할 경우, 기존 설치 프레임의 설치 가능성을 고려해야 하며, 또한 이에 대한 고려도 필요합니다.
3. 에어필터 제거 및 정화 에어컨 시스템 납품, 리턴 에어라인 세척
정화형 공조 시스템의 경우, 기존 에어 필터(주로 고효율 또는 초고효율 에어 필터의 끝부분이라고 함)를 제거하기 전에 클린룸 내 장비를 비닐 랩으로 감싸고 덮어 에어 필터 끝부분이 손상되는 것을 방지해야 합니다. 분해 및 해체 작업 후 에어 덕트, 정압 박스 등에 쌓인 먼지가 떨어져 장비와 바닥을 오염시킵니다.
시스템의 공기 필터를 제거한 후에는 설치 프레임, 에어컨, 공급 및 반환 공기 덕트를 조심스럽고 철저하게 청소해야 합니다.
시스템에서 공기 필터를 제거할 때는 1차(신규 공기) 필터, 중효율 필터, 아효율 필터, 고효율 필터, 초고효율 공기 필터의 순서로 제거하는 것이 좋습니다. 이렇게 하면 클린룸으로 유입되는 먼지의 양을 줄일 수 있습니다.
에어컨 시스템의 마지막 단계에서 에어필터를 교체하는 것은 쉽지 않고 교체 주기도 길기 때문에, 마지막 에어필터를 교체하는 동안 시스템 내 모든 장비를 점검하는 것이 좋습니다.
4. 미세먼지 입자 제거
시스템 내 공기 필터를 완전히 제거한 후, 시스템 내 팬을 가동하여 모든 공기 덕트(주로 공기 공급 덕트), 엔드 필터 설치 프레임, 그리고 클린룸을 불어내어 관련 표면에 부착되도록 합니다. 미세 먼지 입자는 내화성을 가지고 있습니다.
5. 최종(저효율, 고효율, 초고효율) 에어필터 교체
정화형 공조 시스템에서는 각 레벨에 공기 필터를 설치하여 클린룸의 청결을 확보하는 데 핵심적인 역할을 하며, 최종 필터입니다.
클린룸의 엔드 필터는 일반적으로 고효율, 초고효율 여과 또는 저투과율 필터를 사용하는데, 이러한 필터는 먼지 여과 효율이 매우 높아 쉽게 막히는 단점이 있습니다. 일반적으로 클린룸 운영 시 실내 작업과 클린룸 청정도 사이의 관계로 인해 클린룸의 주 급기 덕트와 클린 공조 시스템의 엔드 필터를 제거하고 교체하는 것이 불편한 경우가 많습니다. 장치의 상단은 클린룸 청정도에 필요한 농도까지 입자 농도를 낮추도록 설계되었으며, 엔드 필터의 수명을 연장하기 위해 고효율 또는 초고효율 필터 앞에 중간 필터를 배치합니다.
게시 시간: 2015년 1월 3일